概要
Beneq Prodigy™は、手の届く価格の独立型ALDバッチ・ツールによるデバイスの性能と信頼性の向上を求めるVCSEL、LED、およびMEMSメーカおよびファウンドリに最適な製造ソリューションです。Beneq Prodigyは、さまざまなウェハの種類およびサイズにおいて最善な組み合わせのパッシベーション膜および（または）封止膜を提供します。
価値
高性能技術を低価格で。Prodigyは、化合物半導体およびMEMS製造市場へ経済、能力、および信頼性の面で優れた進歩をもたらします
シンプルさ
ソリューションの検討に割く時間をより多く。Prodigyは、水平ウェハ搬送を行う自動ローディング、および側面へのアクセスを容易に行える簡単なメンテンスと有用性による純粋なシンプルさを提供します。
イノベーション
新たな基準を定義。このツールは、ALDを用いて実現可能な化合物半導体およびMEMSデバイスの量産に関し全く新しい基準を定めます。Beneqが15年以上をかけて到達したシンプルな自動化および信頼性のあるリアクタ設計を用いて、高性能用途分野へ実績ある結果をもたらします。
通信対応可
Beneq Prodigyはクリーンルーム対応かつSECS／GEM通信機能を搭載しており、最も高いSEMI S2基準に準拠しています。
