1つのプラットフォームで複数の構成を実現。
Beneq Transform®は、その汎用性と適応性においてこれまでに類のないALDクラスタ・ツール製品を確立し、広範な用途および市場区分に対応します。Beneq Transform®は複数のALDプロセス・モジュールを構成して特定のウェハ生産能力要件を満たすか、生産量の増加や新たなALD用途に応じて、後でアップグレードすることができます。
（PEALD)
サーマルALDとプラズマALDが一体化
枚葉式またはバッチ式処理。極めて広範な高性能酸化物および窒化物。量産を柔軟に行うための選択肢を最大化。柔軟性のある自動化プラットフォームと、サーマルバッチ式およびプラズマ強化式両方のALDプロセス・モジュールを組み合わせ1台のシステムで行う独自の能力により、Beneq Transform®は処理シーケンスをいかにして実現し最も厳しい薄膜蒸着要件を満たすかにおいて比類のない柔軟性を提供します。
ファブに適した設計。
業界標準の水平ウェハ・ローディングがプラグ・アンド・プレイ統合を提供。独自の予熱モジュールが待機時間を削減し、スループットをこれまでにないレベルへと引き上げます。
SEMI認証を取得。
SEMI S2／S8およびSECS／GEM基準に完全準拠。カスタマイズされたサポートが、生産においてALDへのスムースな移行を実現します。
