製品
研究開発向け装置
Beneqは学術研究および企業のR&Dにおいて最も多く設置されているALD装置のプロバイダです。当社の製品は、マルチ・ユーザの研究環境においてクロスコンタミを最小限に抑えるよう設計されてきました。最も厳しい研究要件に対し広範なオプションとアップグレードをご提供します。
Beneq TFS 200
デュアル・チャンバ構造およびメタルシールで構成されているALDツールは交差汚染を最小限に低減します。TFS 200は、広範なオプションと自動化により、研究と生産の両方に対応します。不活性ガス・バルブがプリカーサ残留物の反応チャンバへの進入を防ぎ、短いALDサイクルを実現します。
製品を見る
Beneq TFS 500
TFS 200のすべての機能を備えたTFS 500は、より大きな規模で同一の機能を果たします。より大きな反応チャンバが、300mmのウェハ、太陽電池、および粉末の処理を可能にします。前面へのアクセスが可能なため、媒体から大きな3次元の物体に至るまでロードおよびアンロードを容易に行えます。
製品を見る比較
最適な製品を探す
製品 R2 TFS 200 TFS 500
寸法 720 x 1340 x 1280 mm 720 x 1340 x 1280 mm 1600 x 900 x 1930 mm
チャンバ容積 200 x 3 mm （直径×高さ） 200 x 95 mm （直径×高さ） 200 x 170 mm （直径×高さ）
用途 研究 研究、生産 研究、生産
統合 独立型 クラスタ クラスタ
温度範囲 25-400 °C 25-500 °C 25 – 500 °C
超低蒸気圧プリカーサ No Yes Yes
製品 R2
寸法 720 x 1340 x 1280 mm
チャンバ容積 200 x 3 mm （直径×高さ）
用途 研究
統合 独立型
温度範囲 25-400 °C
超低蒸気圧プリカーサ No
R2 製品 TFS 200
寸法 720 x 1340 x 1280 mm
チャンバ容積 200 x 95 mm （直径×高さ）
用途 研究、生産
統合 クラスタ
温度範囲 25-500 °C
超低蒸気圧プリカーサ Yes
TFS 200 製品 TFS 500
寸法 1600 x 900 x 1930 mm
チャンバ容積 200 x 170 mm （直径×高さ）
用途 研究、生産
統合 クラスタ
温度範囲 25 – 500 °C
超低蒸気圧プリカーサ Yes
TFS 500