製品
バッチ生産ALD装置
様々な種類の基板や厚膜のコーティングに最適な、大型汎用 ALD 生産システム。 研究開発段階からフル生産段階まで、ALD 成膜を簡単にスケールアップできます。

Beneq P400A
信頼性を考慮して作られたP400Aは、20年以上におよぶALD生産経験の成果です。P400Aは、1つのマス・フロー・コントローラで圧力関係を切り離し、オリフィス単独でキャリア・ガスの分配を行います。電磁タイプのバルブのみを用いることで、ALD成膜のガス投入を素早く、かつ繰り返し行います。
製品を見るBeneq P800
大規模バッチや部品のALD成膜の業界標準。金属酸化物、希土類酸化物、窒化物、硫化物、および炭化物のALDプロセスに対応可能。さまざまな反応チャンバに対応できる十分な大きさで、サンプルのサイズに関係なく極めて優れた均一性を実現します。特許取得済みの投入バルブおよびBeneq独自の逆吸引機構が、反応チャンバへのプリカーサの漏れを防ぎます。
製品を見るBeneq P1500
世界最大級のALDリアクタ。面積の非常に広い基板や大規模バッチの3D部品の成膜に対応する独自設計装置。最大規模でのALDを実現する大容量のプリカーサ・ソース、回転可能な反応チャンバ、およびオプションにて予熱オーブンを用意しております。
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製品
P400A
P800
TFS 500
Transform™ Lite
寸法
2400 × 930 × 2420 mm
3200 × 1340 × 2460 mm
1600 × 900 × 1930 mm
3000 x 1200 x 1950 mm
チャンバ容積
250 x 250 x 700 mm
600 x 300 x 800 mm
200×170mm(直径×高さ)
200mmウェハ×25枚
用途
生産
生産
R&Dおよび生産
生産
インテグレーション
スタンドアローン
スタンドアローン
クラスタ
クラスタ
温度範囲
50 – 500 °C
50 – 500 °C
25 – 500 °C
25 – 400 °C
製品
P400A
寸法
2400 × 930 × 2420 mm
チャンバ容積
250 x 250 x 700 mm
用途
生産
インテグレーション
スタンドアローン
温度範囲
50 – 500 °C
P400A
製品
P800
寸法
3200 × 1340 × 2460 mm
チャンバ容積
600 x 300 x 800 mm
用途
生産
インテグレーション
スタンドアローン
温度範囲
50 – 500 °C
P800
製品
TFS 500
寸法
1600 × 900 × 1930 mm
チャンバ容積
200×170mm(直径×高さ)
用途
R&Dおよび生産
インテグレーション
クラスタ
温度範囲
25 – 500 °C
TFS 500
製品
Transform™ Lite
寸法
3000 x 1200 x 1950 mm
チャンバ容積
200mmウェハ×25枚
用途
生産
インテグレーション
クラスタ
温度範囲
25 – 400 °C
Transform™