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バッチ生産ALD装置

様々な種類の基板や厚膜のコーティングに最適な、大型汎用 ALD 生産システム。 研究開発段階からフル生産段階まで、ALD 成膜を簡単にスケールアップできます。

Beneq P400A

信頼性を考慮して作られたP400Aは、20年以上におよぶALD生産経験の成果です。P400Aは、1つのマス・フロー・コントローラで圧力関係を切り離し、オリフィス単独でキャリア・ガスの分配を行います。電磁タイプのバルブのみを用いることで、ALD成膜のガス投入を素早く、かつ繰り返し行います。

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Beneq P800

大規模バッチや部品のALD成膜の業界標準。金属酸化物、希土類酸化物、窒化物、硫化物、および炭化物のALDプロセスに対応可能。さまざまな反応チャンバに対応できる十分な大きさで、サンプルのサイズに関係なく極めて優れた均一性を実現します。特許取得済みの投入バルブおよびBeneq独自の逆吸引機構が、反応チャンバへのプリカーサの漏れを防ぎます。

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P1500

Beneq P1500

世界最大級のALDリアクタ。面積の非常に広い基板や大規模バッチの3D部品の成膜に対応する独自設計装置。最大規模でのALDを実現する大容量のプリカーサ・ソース、回転可能な反応チャンバ、およびオプションにて予熱オーブンを用意しております。

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製品 P400A P800 TFS 500 Transform™ Lite
寸法 2400 × 930 × 2420 mm 3200 × 1340 × 2460 mm 1600 × 900 × 1930 mm 3000 x 1200 x 1950 mm
チャンバ容積 250 x 250 x 700 mm 600 x 300 x 800 mm 200×170mm（直径×高さ） 200mmウェハ×25枚
用途 生産 生産 R&Dおよび生産 生産
インテグレーション スタンドアローン スタンドアローン クラスタ クラスタ
温度範囲 50 – 500 °C 50 – 500 °C 25 – 500 °C 25 – 400 °C
P400A P800 TFS 500 Transform™
製品 P400A
寸法 2400 × 930 × 2420 mm
チャンバ容積 250 x 250 x 700 mm
用途 生産
インテグレーション スタンドアローン
温度範囲 50 – 500 °C
P400A
製品 P800
寸法 3200 × 1340 × 2460 mm
チャンバ容積 600 x 300 x 800 mm
用途 生産
インテグレーション スタンドアローン
温度範囲 50 – 500 °C
P800
製品 TFS 500
寸法 1600 × 900 × 1930 mm
チャンバ容積 200×170mm（直径×高さ）
用途 R&Dおよび生産
インテグレーション クラスタ
温度範囲 25 – 500 °C
TFS 500
製品 Transform™ Lite
寸法 3000 x 1200 x 1950 mm
チャンバ容積 200mmウェハ×25枚
用途 生産
インテグレーション クラスタ
温度範囲 25 – 400 °C
Transform™
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