ALD装置(原子層堆積装置)のサービスプロバイダ Beneq(ベネック)

1984年、Beneqは原子層堆積法(ALD)を用いての工業生産を世界に先駆けて開始しました。そして現在、ALD装置および研究開発(R&D)サービスのプロバイダとして、多くのお客様にご注目頂いています。当社は、生産や研究用途向けに高品質のツールを開発し、また工業用ALDソリューションを通じて技術面において大きな潮流を生み出すことを使命としています。

製品

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研究

学術研究および企業のR&Dに特化した、品質および柔軟性の高いALD研究装置。

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半導体

ウェハの大容量生産に適した自動ALDソリューション。

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3次元およびバッチ

多種多様な基板や厚膜の成膜に最適な最大規模の汎用ALD生産システム。

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空間ALD

R&Dおよび生産用途で用いられるフレキシブル基板に適した大面積ロール・ツー・ロールALDシステム。

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