機械速度
生産時 最小0.1m／分
生産時 最大10m／分
ウェブ材質
銅、アルミ、ステンレス、ポリマ、紙、および真空成膜に適したその他基板
引き込みリール
ウェブ幅 最大420mm
ウェブ幅 最小100mm
直径 最大400mm
核内径 152mm
インタリーブ・ワインダ（オプション）
インタリーブ直径 最大150mm
ALD材料
Al₂O₃、TiO₂、ZnO、ZnS、SiO₂、およびその他
最高温度
250 ºC