1600 × 900 × 1930 mm
寸法
R&Dおよび生産
用途
グローブ・ボックス、ロード・ロック、クラスタ
インテグレーション
25 – 500 °C
温度範囲
プロセスの種類
熱ALD
プラズマ励起式ALD
基板の種類
最大300mmのウェハ
最大370×470mmのガラス
300×420mmのバッチ
3次元部品
粉末
基板のローディング
自動
手動
主要寸法
1600 x 900 x 1930 mm
統合
グローブ・ボックス
ロード・ロック
クラスタ
電気キャビネットの主要寸法（長さ×幅×高さ）
1000 × 300 × 1600 mm
処理温度範囲
25 – 500 °C
反応チャンバの種類と寸法
単一ウェハ：⌀200×3（mm）／⌀300×25（mm）
単一ウェハ・プラズマ：⌀200×3mm／⌀300×3mm
単一ウェハ・プラズマ：⌀200×3mm／⌀300×3mm
3次元／バッチ：450×300×250mm
粉末：⌀80×50mm
太陽電池のバッチ：156×156mm、100個
ガス・ライン
最大5
液体ソース（+5℃～周囲温度）
最大4
高温熱源 HS 300（周囲温度～300℃）
最大4
高温熱源 HS 500（周囲温度～500℃）
最大2
オプション
CCPプラズマ・ソース（容量結合）
手動ロード・ロック
制御システム
PCユーザ・フェース搭載PLC制御