バッチ生産装置
Beneq P1500
工業生産向けALDシステム
手動
基板のローディング
生産
用途
熱ALD
プロセスの種類
スタンドアローン
インテグレーション
プロセスの種類
熱ALD
用途
生産
基板の種類
ガラスおよび金属板
3次元部品
基板のローディング
手動
主要寸法
6195 × 2480 × 2600 mm
インテグレーション
スタンドアローン
比較
Pシリーズ
製品
P400A
P800
P1500
処理温度範囲
25 – 550 °C
25 – 550 °C
25 – 400 °C
真空チャンバ寸法
ø400 mm
ø800 mm
W:1700 mm
反応チャンバの種類と寸法
アプリケーション別、基板設置サイズ例：－240×240×720mm、23段カセット付き－370×470×25mm、2段カセット付き
アプリケーション別、基板設置サイズ例：－550×310×700m－380×380×900mm、－730×1,200×10mm
アプリケーション別、基板設置サイズ例：1,300×2,400×750mm
プリカーサ・ソース
ガス状、液状、および固体状プリカーサ用の5つの並列供給ライン。最大で10のプリカーサに対応可能。
ガス状、液状、および固体状プリカーサ用の5つの並列供給ライン。最大で10のプリカーサに対応可能。
最大ソース容量が16.2ℓの液体ソース×4、熱源×2、およびガス・ソース×2
制御システム
PCユーザ・フェース搭載PLC制御
PCユーザ・フェース搭載PLC制御
PCユーザ・フェース搭載PLC制御
主要寸法（長さ×幅×高さ）
2400 × 930 × 2420 (mm)
3200 × 1340 × 2460 (mm)
6195 × 2480 × 2600 (mm)
製品
P400A
処理温度範囲
25 – 550 °C
真空チャンバ寸法
ø400 mm
反応チャンバの種類と寸法
アプリケーション別、基板設置サイズ例：－240×240×720mm、23段カセット付き－370×470×25mm、2段カセット付き
プリカーサ・ソース
ガス状、液状、および固体状プリカーサ用の5つの並列供給ライン。最大で10のプリカーサに対応可能。
制御システム
PCユーザ・フェース搭載PLC制御
主要寸法（長さ×幅×高さ）
2400 × 930 × 2420 (mm)