晶圆厂设备

BENEQ Transform™ 和 Transform™ Lite

实现批量生产的多功能自动化 ALD 解决方案

Beneq Transform™

Beneq Transform™ Lite

一个平台,多种配置

BENEQ Transform™凭借多功能性和灵活性,制造了全新的ALD集群工具设备。可适用于广泛的应用场景并满足不同的市场细分。Beneq Transform™配置多个ALD工艺模块,以满足特定的晶圆产能要求,也可为应对不断增长的产量或新的ALD应用而进行升级。

PEALD
Thermal

兼容热法和等离子体增强ALD工艺模块

单片、批量、热法及等离子体增强功能集成在同一平台上。适用于广泛的高性能氧化物和氮化物。 为客户提供了灵活、可靠、高产能的ALD解决方案。

Beneq Transform™凭借灵活的自动化平台,热法和等离子体增强的ALD工艺模块集成在一个系统中的独特能力,在工艺制备中可满足最苛刻的薄膜沉积要求,并提供无与伦比的灵活性。

专为晶圆厂设计

工业标准的水平晶圆装载可实现即插即用的无缝集成。配备独特的预热模块,可减少数小时的等待时间,并将产能提升到一个全新的水平 。

SEMI 认证

完全符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 标准。为客户提供定制化服务,确保在批量生产中顺利过渡到 ALD 工艺。

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