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发挥终极保护作用的防潮镀膜

三个关于 ALD 防潮保护的应用案例

实际上,原子层沉积 ALD 被认为是发挥终极保护作用的防潮镀膜。借助 ALD 技术,可以创建更薄的防潮层,并更有效地阻隔湿气和蒸汽。这远胜于其他密封包装。ALD 提供了在高纵横比和复杂3D形状的表面上形成超薄保形防护镀膜的唯一方法。ALD 对于敏感表面的封装也是绝佳的解决方案。

“许多设备选择 ALD 阻隔层,以阻隔湿气或气体及其他蒸汽。无论需要哪种防潮保护,ALD 都能确保溶液的安全性和干燥度。ALD 镀膜具有无与伦比的高品质,这使其成为许多行业的首选防潮屏障,尤其是半导体行业。” Beneq 销售总监 Sami Sneck表示。

以下是三个关于Beneq ALD 防潮保护的应用案例:

1. 微型 OLED 的封装

VR 眼镜等 OLED 器件对氧气和湿气极为敏感。薄膜封装被认为是保护这些器件的最佳方法。

应用于 OLED 的防潮保护是防潮技术中最具发展前景的应用之一,也是最具挑战性的应用之一。这正是电子行业发展的方向:采用柔性显示屏的柔性解决方案。Beneq 已于2009年开发了ALD技术应用于 OLED 封装,此后这种技术的应用将日益广泛。

客户案例:

一家亚洲领先的 OLED 微显示屏制造商需要为其设备提供最高质量的薄膜封装,以确保较长的设备寿命。标准封装要求是水蒸气透过率(WVTR)小于1*10-6 g/(m2 day) 。由于工艺温度的要求较低,因此采用传统的薄膜沉积方法是无法实现这一目标的。

Beneq 为 OLED 微显示屏制造商提供的解决方案实现了50 nm厚的 Al2O3 / TiO2 纳米层压涂层。该涂层使用了集成到客户制造集群中的全自动 Beneq TFS 200 ALD 系统,在90°C的低温下进行沉积。

2. LED 显示屏的晶圆防潮镀膜

除了 OLED 设备以外,许多设备(例如液晶显示屏、微机电系统、射频、功率半导体、III-V半导体和 CMOS 图像传感器)都可以使用晶圆 ALD 防潮镀膜。

以 LED 行业为例,LED 行业中典型的 ALD 镀膜应用范围十分广泛,从晶圆级防潮涂层到银镜保护。作为一家设备供应商和一家镀膜工艺优化的服务合作伙伴,Beneq 多年来一直在 LED 行业发挥着至关重要的作用。

客户案例:

一家世界领先的 LED 制造商需要改善其高亮度液晶显示屏芯片的防潮层。由于水分会引起氧化反应,因此这些芯片无法满足产品使用寿命的规范要求。传统的涂层技术不足以防止氧化反应。

Beneq 提出了解决方案,将晶圆级防潮镀膜应用于这些芯片。Beneq 的解决方案满足了液晶显示屏芯片的使用寿命的规范要求。

3. 功率半导体的芯片防潮镀膜

对于关键部件和敏感型电子设备,在生产过程的多个阶段中采用多层 ALD 镀膜是很有意义的。例如,与晶圆级防潮层不同,芯片级防潮层还可以保护芯片的侧壁不受潮。在多个阶段或在生产的后期阶段采用ALD 镀膜,这通常会在使用周期内收回投资,从而节省维护成本。

Customer Case:

功率半导体器件行业的一家大公司需要对那些未通过高加速应力测试(HAST)的设备进行改进,因为该项测试是对那些长时间接触高湿度和高温的设备进行性能测试。该设备的侧壁需要防潮保护。

使用 Beneq P400A 高容量批处理 ALD 系统,沉积形成芯片级保形 Al2O3/TiO2 多层防潮镀膜。为了能在切割加工架上涂覆芯片,我们还进行了低温处理。

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ALD 防潮镀膜可延长产品使用寿命

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