客户案例

用于闪烁体板的 ALD 封装

挑战

常见的闪烁体材料包括对水分敏感的碘化铯(CsI) 和碘化钠(NaI)。具有竞争力的产品要求更长的使用寿命,因此薄膜封装镀膜是不可或缺的。

客户

领先的闪烁体板制造商。

Beneq 解决方案

批处理 ALD 工艺功能强大,适用于多达440 x 440 毫米的平板镀膜。保形、致密且无针孔的低温 Al2O3 和TiO2 阻隔镀膜可显著提高产品的使用寿命和可靠性。

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