客户案例

玻璃圆柱体上的光学 NIR 滤光片

挑战

近红外（NIR) 滤镜通常是几微米厚的低折射率和高折射率材料的光学叠加。因此，无法使用常规的物理气相沉积 PVD 方法在玻璃圆柱体等曲面表面上镀膜。

客户

CCD 传感器的工业视觉系统供应商。

Beneq 解决方案

使用专属的光学 Al2O3 和 TiO2 材料的定制化批处理 ALD 工艺是理想之选。Beneq 这种功能强大且经过生产测试的设备，可为极具挑战性的仅几微米厚的薄膜叠加提供稳定可靠的工艺。