用于微型 OLED 的封装

挑战

微型 OLED 需要超高质量的薄膜封装，以延长设备的使用寿命。典型的封装要求是水蒸气透过率（WVTR) 小于1*10^-6 g/(m2 day)，由于工艺温度要求低，采用传统的薄膜沉积方法很难达到这一要求。

客户

亚洲领先的微型 OLED 制造商。

Beneq 解决方案

全自动 TFS 200 系统可与客户的制造设备集成，在90°C的低温下沉积50纳米厚的 Al2O3/TiO₂ 纳米层压镀膜。