客户案例

大功率激光透镜的光学镀膜

挑战

大功率激光器需要在保形光学透镜上涂覆具有高性能的光学镀膜。由于3D形状复杂，部件难以涂层，而且超出了物理气相沉积 PVD 等常规技术的应用范围。

客户

领先的高功率激光光学装置和镀膜供应商。

Beneq solution

TFS 500 批量 ALD 系统能在客户的光学器件上沉积出高保形和高低折射率的多层光学镀膜。