客户案例

用于衍射光栅的填充方法

挑战

客户正在寻找一种能调整衍射光栅的光学性能并保持光栅无碎屑的有效方法。

客户

领先的光学系统制造商。

Beneq 解决方案

Beneq 使用 ALD 工艺，利用高折射率材料完全填充光栅结构，以增强光栅的光学性能。最终形成的整体结构基本平整，这有助于保持结构的清洁性。