应用 ALD 技术的大功率激光器光学镀膜
很难相信，最初由Theodore Maiman 在1960年开发的激光器被称为“一种针对某个问题的解决方案”。如今，这些强大的能量束已用于多种应用和行业，例如外科治疗、切割、焊接、光电干扰设备、荧光显微镜、激光打印机、光盘、条形码扫描仪和光纤通信。
镀膜光学镜片和棱镜对光线重新定向
激光束基本上是一种被多次集中并重新定向的光波，而这种光波最终会形成一种强大的光束。光学透镜和棱镜能够对光波进行重新定向，而且还允许特定的光波穿过或反射特定的波长。
棱镜和光学镜片是无法单独完成所有这些光线操作的。因此，棱镜和光学镜片上专门设计的镀膜至关重要。
光学涂层的类型取决于所需的结果类型。例如，如果需要反射特定类型的光波长，则可以设计特定的光学涂层，该涂层的用途是反射大部分的光线，同时透射该特定波长上的少量光线。
适用于复杂3D结构的光学 ALD 镀膜
由于光学透镜的3D结构十分复杂，因此无法使用 PVD 等常规技术对其进行高均匀度的镀膜。对复杂3D结构进行保形镀膜的最佳方法是使用原子层沉积技术。每次会形成一层光学原子层沉积镀膜，最终形成无针孔的保形膜。
使用原子层沉积技术，甚至可以在结构最复杂的零件上获得高质量的光学镀膜。采用 ALD 技术的最常见光学涂层材料是SiO2、Al2O3 和 TiO2。
光学 ALD 镀膜达到良好的激光诱导损伤阈值
对光学元件进行测试，旨在掌握其激光诱导损伤阈值 (LIDT) 水平，从而确定光学元件对特定应用的适用性。基本流程是，首先将低能束投射到光学元件上，然后再使用高能束进行覆盖，最后查看结果以确定光学元件具有的损坏阈值水平。
ALD 多层镀膜可以达到良好的激光诱导损伤阈值水平。下例显示了厚度为4.1μm的 Al2O3 / TiO2 多层反射器样品的损伤阈值：
为什么选择 Beneq ALD 技术用于大功率激光器？
- 3D光学表面上的镀膜保形而均匀 – 具有高纵横比 (HAR) 表面、高曲面透镜、棱镜和套管。
- 具有良好的激光诱导损伤阈值性能。
- 厚度控制精确且可重复，具有原子级精度。
- 致密且无针孔的薄膜也可以用作阻隔层。
- Beneq 在原子层沉积光学镀膜领域拥有领先的专业知识，对材料非常了解，并且具有设计和表征光学镀膜的能力。
- Beneq 支持各种基底尺寸：从毫米到米。
薄膜具有出色的均匀性、保形性、可重复性以及可能用于涂覆复杂结构表面的特性，因此 ALD 技术成为光学应用的理想选择。