晶圆厂设备

BENEQ Transform™ 和 Transform™ Lite

实现批量生产的多功能自动化 ALD 解决方案

BENEQ Transform™ 是功率器件、MEMS 和传感器、RF、LED、光学和高级封装应用的一站式 ALD 解决方案。其采用全新的集群设计,即在一个全自动平台上将热法和等离子 ALD 与单晶圆和批量工艺相结合,从而为客户提供了卓越的灵活性。它专有的预热模块可减少数小时的等待时间,并将生产量提升到一个全新的水平:热模式下 15 wph @50 nm Al2O3。该产品还新增了多达2个热处理或等离子体模块,从而进一步提高产能。

BENEQ Transform™ Lite 和体型更大的 Transform™ 一样,可提供热法和等离子ALD 工艺及预热模块。从研发、原型设计到批量生产,BENEQ Transform™ Lite 在整个工艺中都能发挥有效的作用。它能进行表面预处理,在3至8英寸的晶圆基底材料上进行镀膜。如今通过 Transform™ Lite,客户可以选择在多个设备和应用程序上操作不同的 ALD 工艺。而所有这一切都是在一个平台上完成的!

真正的多功能性

热法和等离子 ALD。单晶圆和批量工艺。 最广泛的高性能氧化物和氮化物。 这些组合最大限度地提高了批量生产的灵活选择。

专为晶圆厂设计

工业标准的水平晶圆装载可实现即插即用的无缝集成。配备独特的预热模块,可减少数小时的等待时间,并将产能提升到一个全新的水平 。

SEMI 认证

完全符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 标准。为客户提供定制化服务,确保在批量生产中顺利过渡到 ALD 工艺。

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