技术规格

技术规格

Genesis ALD
卷绕速度
Production Minimum 0.1 m/min
Production Maximum 10 m/min
卷的基底类型
Copper, Aluminum, Stainless steel, polymer, paper and other substrates suitable for vacuum coating
收卷盘
Web Width Maximum 420 mm
Web Width Minimum 100 mm
Diameter Maximum 400 mm
Core ID 152 mm
Interleave winders Optional
Interleave diameter maximum 150 mm
ALD 薄膜材料
Al₂O₃, TiO₂, ZnO, ZnS, SiO₂, and more
最高工艺温度
250 ºC

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