选件和升级

反应腔

Man with mask

横流前驱体传递以实现薄膜均匀性

Beneq 反应腔支持 TFS 200 研究平台的卓越性和模块化。

包括两个主要的反应腔组:

  1. 反应腔通过手动盖进行装载。
  2. 反应腔通过闸阀进行装载(与负载制动配合使用)。

两个反应腔组的共同点:

  • 支持横流式前驱体传递,确保真正的 ALD 生长、出色的薄膜均匀性和精确的前驱体定量。
  • 可互换。
  • 易于组装。
  • 快速安装。
  • 优化的流道使内部体积最小化,同时实现高速率沉积和快速吹扫。

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