选件和升级

反应腔

横流前驱体传递以实现薄膜均匀性

Beneq 反应腔支持 TFS 200 研究平台的卓越性和模块化。

包括两个主要的反应腔组：

1. 反应腔通过手动盖进行装载。
2. 反应腔通过闸阀进行装载（与负载制动配合使用）。

两个反应腔组的共同点：

• 支持横流式前驱体传递，确保真正的 ALD 生长、出色的薄膜均匀性和精确的前驱体定量。
• 可互换。
• 易于组装。
• 快速安装。
• 优化的流道使内部体积最小化，同时实现高速率沉积和快速吹扫。