选件和升级

臭氧气体选件

Gas Lines

在热 ALD 沉积中使用臭氧

Beneq TFS 200 的臭氧管路和发生器选件,可在热 ALD 沉积中使用臭氧。

臭氧气体选件组合包括:

  • 臭氧发生器。
  • 流量调节装置。
  • 臭氧储存器和破坏器。

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