选件和升级

臭氧气体选件

在热 ALD 沉积中使用臭氧

Beneq TFS 200 的臭氧管路和发生器选件，可在热 ALD 沉积中使用臭氧。

臭氧气体选件组合包括：

• 臭氧发生器。
• 流量调节装置。
• 臭氧储存器和破坏器。