技术规格

液体源

Liquid Sources

带有增压功能的液体源管路 LS-BL

用于低蒸汽压的液体前驱体 (BTBAS, 3DMAS, TEGA, etc.)

包括：

  • 两个气动脉冲阀：一个用于净化气体，另一个用于化学品供应。
  • 高精度针阀用于脉冲调节。
  • 带有VCR®（世伟洛克）接头的轨道焊接不锈钢管。
  • 铝制液体源容器支架冷却杯，用于将液源温度控制在+5°C 和室温之间（需要冷却水组件、冷却器或冷却管路设施）。

请注意：此选件不包括前驱体容器。

前驱体容器 LS-BL-PC/200 和 LS-BL-PC/200 DOT

新增的液体源容器

带增压管路的液体源容器
  • 用于水（H2O）、三甲基铝（TMA）、二乙基锌（DEZ）、四氯化钛（TiCl4）等。
  • 容量为200毫升，最大填充量为150毫升*。
  • 配备两条带手动阀的独立管路。
  • 材质为不锈钢。
  • LS-LS-BL-PC/200: 适于H2O、TMA、DEZ、TiCl4 等。
  • LS-BL-PC/200 DOT: 适于H2O、TMA、DEZ、TiCl4 等，通过DOT *认证。

*表示美国运输部门规定。

带有单输出管路 LS-SL 的液体源管路

用于 H2O, TMA, DEZ, TiCl4 等。

带有单输出管路 LS-SL的液体源管路

包括：

  • 气动脉冲阀。
  • 脉冲调节孔（可选配高精度针形阀）、带有VCR®（世伟洛克）配件的轨道焊接不锈钢管。
  • 铝制液体源容器支架冷却杯，用于将液源温度控制在+5 °C和室温之间（需要冷却水组件、冷却器或冷却管路设施）。

请注意：此选件不包括前驱体容器。

带有单输出管路 LS-SL 的液体源管路

适于高蒸汽压前驱体 (H2O, TMA, DEZ etc.)
包括：

  • 两个气动脉冲阀。
  • 用于调节剂量的高精度孔板。
  • 带VCR连接器的不锈钢管。
  • 液体源容器的冷却杯。

液体源前驱体容器 LS-SL-PC/200, LS-SL-PC/200/H2O 和 LS-PC/200/DOT

  • 新增容器。
  • 容量为200毫升，最大填充量为150毫升*。
  • 三种用于不同化学品的容器类型。
  • LS-PC/200/H2O 用于H2O 和其他无毒无腐蚀性化学品。
  • LS-PC/200 用于H2O、TMA、DEZ、TiCl4 等。
  • LS-PC/200/DOT 用于H2O、TMA、DEZ、TiCl4 等，通过DOT *认证。
  • 不同的前驱体使用不同的容器，可防止交叉污染。
  • 容器配有带手动阀的输出管路。
  • 加注口便于添加化学品。
  • 不锈钢材质。

*表示美国运输部门规定。

液体源压力传感器 LS-PT

用于监控液体源脉冲。

液体源压力传感器 LS-PT (箭头方向）
  • 有助于防止运行中的前驱体耗尽。
  • 非常有助于工艺开发。
  • 与 LS-SL 和 LS-BL 源管道兼容。
  • 压力范围为0–100 Torr。

用于剂量调节的针阀 NV-HP

替换标准单管路液体源中的孔口。

针阀 （箭头方向)
  • 可在工艺运行期间轻松且高精度地调整剂量。
  • 用于新化学沉积。
  • 流量范围可调。
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