选件和升级

液体源

Liquid Sources

可灵活兼容各种化学品

Beneq 的液体源选件可支持 TFS 200 研究平台的多功能性和模块化。借助多个液体源,您可同时操作更多的工艺。专用的前驱体液体源和管路可提高效率,减少维护工作并防止交叉污染。

Beneq TFS 200 最多可容纳四个液体源管路。

我们所有的液体源选件包括:

  • 液体源容器(单独选择容器类型)。
  • 与气体输送单元(GDU)集成。
  • 标准管、针形阀(可选)和脉冲阀。
  • 软件升级。
  • 测试和文档。
  • 由Beneq 专业工程师进行调试。

我们的液体源有两种不同的配置

  • 单个容器配有单个输出口的液体源。
  • 具有双管路设置的液体源(输出和增压氮气输入)。
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