技术规格

热源 HS 500

热源 HS 500

• 用于低蒸汽压的液体和固体。
• 前驱体可加热到500°C。
• 加热的输送管路可防止前驱体凝结。
• 简便快速的前驱体更换。
• 随附5毫升玻璃坩埚。
• 水冷外壳，可确保安全。
• 对于腐蚀性高温工艺，需要配备一个不锈钢反应腔。

HS 500 的前驱体坩埚

• 可装入前驱体化学品的容器。
• 两种材质可供选择：硼硅玻璃和石英。
• HS-500-PC/B: 硼硅玻璃材质，最高温度为350°C。
• HS-500-PC/Q: 石英材质，最高温度为500°C。