选件和升级

热源 HS 500

可灵活兼容各种化学品

热源 HS 500 选件通过以下方式支持 TFS 200 研究平台的多功能性和模块化 :

• 非常适合原子层沉积前驱体化学研究。
• 可使用蒸汽压极低的前驱体（例如 HfCl4, ZrCl4, beta-diketonates, amides, cyclopentadienyl 等）。
• 少量前驱体。
• 简便迅速的前驱体填充及快速的加热时间。
• 与 HS 300 相比，热源 HS 500 可使用对温度要求更高的前驱体和工艺。
• 快速的前驱体装卸。