技术规格

热源 HS 300

热源 HS 300

• 可与 HfCl4, ZrCl4, beta-diketanotes 等组合使用。
• 采用高蒸发面积以及加载和释放模式，可实现最低的前驱体温度。
• 实现最小的前驱体分解。
• 快速加热。
• 提供可选的容器颗粒过滤（专利）系统。
• 必须单独购买前驱体容器。
• 单个前驱体热源容器的管路最高温度为300 °C。

双热源 DHS 300

• 双热源，用于组合框架中的两个单独 HS 300 热源。
• 可与 HfCl4, ZrCl4, beta-diketanotes 等组合使用。
• 采用高蒸发面积以及加载和释放模式，可实现最低的前驱体温度。
• 实现最小的前驱体分解。
• 两个热源之间的最大温差为100°C。
• 提供可选的容器颗粒过滤（专利）系统。
• 必须单独购买前驱体容器。
• 两个前驱体热源容器的双热源最高温度为300°C。

热源前驱体容器 HS 300-PC/OP 和 HS 300-PC/DOT

• 与热源 HS 300 组合使用。
• 容器容量为580毫升（最大填充量为400毫升）。不同的前驱体使用单独的容器，可防止交叉污染。
• 有两种类型的容器：带有移动式顶盖的容器可在本地填充，全焊接设计可确保安全运输。
• 与 HS 300 和 DHS 300 兼容。
• HS 300-PC/OP: 不锈钢材质，配有容器和所有管路部件、带有不同CF垫片材质的容器法兰。主要用于在手套箱中局部填充前驱体。移动式顶盖设计带有金属密封件。
• HS 300-PC/DOT: 不锈钢材质，采用带有VCR接头的全焊接设计。通过DOT *认证。