技术规格

热源 HS 300

Man with mask

热源 HS 300

  • 可与 HfCl4, ZrCl4, beta-diketanotes 等组合使用。
  • 采用高蒸发面积以及加载和释放模式,可实现最低的前驱体温度。
  • 实现最小的前驱体分解。
  • 快速加热。
  • 提供可选的容器颗粒过滤(专利)系统。
  • 必须单独购买前驱体容器。
  • 单个前驱体热源容器的管路最高温度为300 °C。

双热源 DHS 300

  • 双热源,用于组合框架中的两个单独 HS 300 热源。
  • 可与 HfCl4, ZrCl4, beta-diketanotes 等组合使用。
  • 采用高蒸发面积以及加载和释放模式,可实现最低的前驱体温度。
  • 实现最小的前驱体分解。
  • 两个热源之间的最大温差为100°C。
  • 提供可选的容器颗粒过滤(专利)系统。
  • 必须单独购买前驱体容器。
  • 两个前驱体热源容器的双热源最高温度为300°C。

热源前驱体容器 HS 300-PC/OP 和 HS 300-PC/DOT

  • 与热源 HS 300 组合使用。
  • 容器容量为580毫升(最大填充量为400毫升)。不同的前驱体使用单独的容器,可防止交叉污染。
  • 有两种类型的容器:带有移动式顶盖的容器可在本地填充,全焊接设计可确保安全运输。
  • 与 HS 300 和 DHS 300 兼容。
  • HS 300-PC/OP: 不锈钢材质,配有容器和所有管路部件、带有不同CF垫片材质的容器法兰。主要用于在手套箱中局部填充前驱体。移动式顶盖设计带有金属密封件。
  • HS 300-PC/DOT: 不锈钢材质,采用带有VCR接头的全焊接设计。通过DOT *认证。

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