技术规格

椭偏仪


椭偏仪负载制动功能可将 Film Sense FS1 或 Woollam iSE 椭偏仪集成到现有的TFS 200 原子层沉积工具上,以监控膜的生长,而不会破坏测量过程中的真空 条件。这是一种经济高效的方法。

此升级版本为研究原子层沉积的膜生长提供了一个全新的维度。

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