椭偏仪

纳米级超薄膜测量

集成式椭偏仪可为纳米级高级原子层沉积应用提供最佳的超薄膜测量。目前，椭偏仪也可以作为现有 TFS 200 原子层沉积工具的升级版本进行安装。通过在现有的 TFS 200 上安装带有椭偏仪测量头端口的负载制动，即可实现这一目标。

在 TFS 200 产品中，椭偏仪会直接集成到真空腔中，可进行真正的原位测量。