技术规格

热法工艺气体管路

Thermal Gas Line

TGL-1 气体管路

适用于 N2, O2, H2 或 Ar。

包括:

  • 气动脉冲阀、带 VCR 接头的不锈钢管以及用于流量调节的节流孔。
  • 硬件和软件互锁,用于不兼容气体组合。

Beneq 要求将气体检测和警报系统与有害气体组合使用。(可从Beneq 单独购买检测器)

TGL-2 易燃气体/有毒气体管路

适用于 NH2, H2S, SixHy 或 WF6

包括:

  • 气动脉冲阀、带VCR接头的不锈钢管以及用于流量调节的节流孔。
  • 硬件/软件互锁,用于不兼容气体组合。
  • 气源上的双联锁阀。
  • 带有自动吹扫控制装置的集成吹扫管路。

Beneq 要求将气体检测和警报系统与有害气体组合使用。(可从Beneq 单独购买检测器)

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