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TGL-1 气体管路

适用于 N₂, O₂, H₂ 或 Ar。

包括：

• 气动脉冲阀、带 VCR 接头的不锈钢管以及用于流量调节的节流孔。
• 硬件和软件互锁，用于不兼容气体组合。

Beneq 要求将气体检测和警报系统与有害气体组合使用。(可从Beneq 单独购买检测器）

TGL-2 易燃气体/有毒气体管路

适用于 NH₂, H₂S, Si_xH_y 或 WF₆。

包括：

• 气动脉冲阀、带VCR接头的不锈钢管以及用于流量调节的节流孔。
• 硬件/软件互锁，用于不兼容气体组合。
• 气源上的双联锁阀。
• 带有自动吹扫控制装置的集成吹扫管路。

Beneq 要求将气体检测和警报系统与有害气体组合使用。(可从Beneq 单独购买检测器）