选件和升级

热法工艺气体管路

用于控制气态前驱体脉冲

通过热气管路，气态前驱体（例如 NH3、H2S 和 SiH4）以受控方式脉冲进入原子层沉积反应腔。

热气管路选件支持 TFS 200 科研平台的卓越性和模块化：

• 任何适用于原子层沉积的气态前驱体配有不同的气体管路选件。
• 气体管路选件包括必要的附加硬件和软件。
• 根据前驱体类型的不同，热气管路选件具有两种安全级别（非危险或易燃/有毒）。