选件和升级

热法工艺气体管路

Thermal Gas Line

用于控制气态前驱体脉冲

通过热气管路,气态前驱体(例如 NH3、H2S 和 SiH4)以受控方式脉冲进入原子层沉积反应腔。

热气管路选件支持 TFS 200 科研平台的卓越性和模块化:

  • 任何适用于原子层沉积的气态前驱体配有不同的气体管路选件。
  • 气体管路选件包括必要的附加硬件和软件。
  • 根据前驱体类型的不同,热气管路选件具有两种安全级别(非危险或易燃/有毒)。

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