可紧凑。可扩展。完美的ALD研发设备基础价格130,000欧元。
拥有紧凑型结构和优质的 ALD 反应器。采用人体工程学设计，提高设备性能和操作效率。模块化设计便于快速升级和维护。
标准热 ALD 设定 (具体见下文)。最终价格因客户配置和附件而异
定制属于您的 R2
- 4个液体源。使用标准50毫升世伟洛克容器。
- 单晶圆反应腔。
- 备件和消耗品套件。
- 包装以及CIP运输至机场。
- 设备调试和启动（包括现场3天）。
Beneq
