科研设备
Beneq R2
可紧凑。可扩展。完美的 ALD 研发设备的基础价格为130,000欧元。
可紧凑。可扩展。完美的ALD研发设备基础价格130,000欧元。
拥有紧凑型结构和优质的 ALD 反应器。采用人体工程学设计,提高设备性能和操作效率。模块化设计便于快速升级和维护。
标准热 ALD 设定 (具体见下文)。最终价格因客户配置和附件而异
定制属于您的 R2
- 4个液体源。使用标准50毫升世伟洛克容器。
- 单晶圆反应腔。
- 备件和消耗品套件。
- 包装以及CIP运输至机场。
- 设备调试和启动(包括现场3天)。
新闻 |
Beneq R2 售价为13万欧元或14.5万美元起。这是我们迄今为止最具性价比的设备。我们正在提高大学对入门级原子层沉积研究设备的期望值。
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新闻 |
Beneq 推出新产品 R2, 专为 ALD 科研和应用开发而定制的紧凑型模块化平台,前所未有地降低了 ALD 的研发成本 。
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