科研设备

Beneq R2

可紧凑。可扩展。完美的 ALD 研发设备的基础价格为130,000欧元。

R2 landscape

可紧凑。可扩展。完美的ALD研发设备基础价格130,000欧元。

拥有紧凑型结构和优质的 ALD 反应器。采用人体工程学设计,提高设备性能和操作效率。模块化设计便于快速升级和维护。

标准热 ALD 设定 (具体见下文)。最终价格因客户配置和附件而异

定制属于您的 R2

  • 4个液体源。使用标准50毫升世伟洛克容器。
  • 单晶圆反应腔。
  • 备件和消耗品套件。
  • 包装以及CIP运输至机场。
  • 设备调试和启动(包括现场3天)。

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