技术规格

四极质谱仪 (QMS)

四极质谱仪 QMS-200

– MKS Vision 2000-C QMS 组件。
– ALD 工艺的连续原位监测。
– 最低可检测浓度：<200 ppb（无干扰物质）
– 软件用于数据采集和分析。
– 可用于 ALD 系统泄漏检测。
– 集成到 TFS 200 泵管路 。
– 从 ALD 系统真空腔出口到 QMS 的泵管路加热器。

这是现有TFS 200 的升级版本，可在购买时进行现场安装和调试。