选件和升级

四极质谱仪 (QMS)

用于工艺开发,FBR 工艺监测和系统泄漏检查

我们建议将 QMS 与我们的流化床反应腔 FBR 选件组合使用。该仪器用于分析离开反应腔的气体成分。借助该信息,我们可以准确地确定原子层沉积脉冲的正确长度。

在开发新原子层沉积过程中,QMS 能够发挥有效作用,大幅加快开发工作。同样,通过分析离开反应腔的气体成分,我们可以确定反应腔中是否已发生所需的反应,并可以相应地调整工艺参数。

QMS 还可以用作残留气体分析仪,以确保原子层沉积系统不漏气,无需额外的氦气泄漏测试仪。

安装了 QMS 的 TFS 200

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