技术规格

石英晶体微量天平 (QCM)

Man with mask

石英晶体微量天平 QCM-200

石英晶体微量天平升级包括:

  • 真空腔顶部法兰与 QCM 兼容,而且真空腔顶部法兰带有2个馈通端口。
  • 反应腔顶盖与 QCM 兼容,用于将 Colnatec QCM头集成到反应腔的顶部流动通道中。顶盖材质为铝,最高额定温度高达350°C。顶盖与现有腔室兼容。
  • 现有 TFS 200 的升级版本,可在购买时进行现场安装和调试。

QCM 测量组件:

  • Colnatec Phoenix 传感器头。
  • KF40 馈通端口。
  • Colnatec EonLT 是温度测量薄膜厚度的监视器。频率和温度测量相结合,可实现前所未有的实时速率和薄膜厚度监控精度。
  • 软件和电缆。
  • 三个晶体具有三种不同的温度范围。

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