石英晶体微量天平 QCM-200
石英晶体微量天平升级包括：
- 真空腔顶部法兰与 QCM 兼容，而且真空腔顶部法兰带有2个馈通端口。
- 反应腔顶盖与 QCM 兼容，用于将 Colnatec QCM头集成到反应腔的顶部流动通道中。顶盖材质为铝，最高额定温度高达350°C。顶盖与现有腔室兼容。
- 现有 TFS 200 的升级版本，可在购买时进行现场安装和调试。
QCM 测量组件：
- Colnatec Phoenix 传感器头。
- KF40 馈通端口。
- Colnatec EonLT 是温度测量薄膜厚度的监视器。频率和温度测量相结合，可实现前所未有的实时速率和薄膜厚度监控精度。
- 软件和电缆。
- 三个晶体具有三种不同的温度范围。