选件和升级

石英晶体微量天平 (QCM)

精确测量原位薄膜生长的工具

石英晶体微量天平 (QCM) 是一种经济高效且能精确测量原子层沉积薄膜生长的工具。与椭偏仪测量相比，这种方法对于在沉积过程中获取薄膜生长数据而言更为经济高效。

与许多椭偏仪集成度相比，在测量过程中需要停止沉积的情况下，QCM 仍可进行真正的“原位”测量。

Beneq QCM 选件可轻松安装在任何带有热反应腔的 TFS 200 上。并包括现场启动所需的所有零件和服务。

QCM 选件可与手动和负载制动反应腔相兼容，但需要进行一些微调。