技术规格

等离子增强 ALD (PEALD)

等离子选件 PO-200 和 PO-200-HT

• 最大200毫米的圆形晶圆。
• 优异的均匀性。
• 横流前驱体传递。
• 反应腔材质为铝或不锈钢。
• 包括等离子体头PH-200、等离子匹配盒、等离子发生器、带有质量流量控制器（MFC）的等离子气体管路和等离子发生器机架。
• 最高沉积温度为450°C。
• 必须单独增加等离子体反应腔。
• 必须单独增加等离子气体管路。
• 必须从侧面装载基底，含手动加载装置或加载锁。
• PO-200-HT：用于需要高温的工艺。 最高温度为450°C。