技术规格

流化床反应腔 (FBR)

优异的均匀度。
精细粉末镀膜的最佳效果。
通过流经反应腔的气体和振动反应腔模块本身，颗粒可保持流体的流动性。
模块中包含观察窗，以便于观察流化过程 – 这在设置最小流化速度时发挥有效作用。
不锈钢反应腔可用于高温沉积和生产用途。
玻璃和不锈钢均可以使用相同的流化床反应腔设置。
残留气体分析仪（RGA）选件可提供原位分析，并向计算机提供实时数据。
FBR 200: 用于均匀镀膜100纳米以下的颗粒。