选件和升级

流化床反应腔 (FBR)

用于精细粉末的真正保形镀膜

流化床反应腔（FBR）是 Beneq TFS 200 的多功能颗粒镀膜选件。

借助流化床反应腔选件，您可以获得：

• 易于安装且易于拆卸的反应腔组件。
• 用于精细粉末的真正保行镀膜。
• 独特的腔内腔设计，可提供最高质量的镀膜和工艺多功能性。
• 易于拆卸的镀膜腔，可简化粉末的装卸工序。

Beneq 推荐使用四极质谱仪（QMS）进行原位分析和工艺开发。Beneq 可提供四极质谱仪集成装置，作为现有 TFS 200 的升级版本。点击了解有关四极质谱仪（QMS）的更多信息

点击了解 Beneq TFS 200 流化床反应腔（FBR）的原子层沉积（ALD）粉末镀膜的更多信息!