选件和升级

流化床反应腔 (FBR)

用于精细粉末的真正保形镀膜

流化床反应腔(FBR)是 Beneq TFS 200 的多功能颗粒镀膜选件。

借助流化床反应腔选件,您可以获得:

  • 易于安装且易于拆卸的反应腔组件。
  • 用于精细粉末的真正保行镀膜。
  • 独特的腔内腔设计,可提供最高质量的镀膜和工艺多功能性。
  • 易于拆卸的镀膜腔,可简化粉末的装卸工序。

Beneq 推荐使用四极质谱仪(QMS)进行原位分析和工艺开发。Beneq 可提供四极质谱仪集成装置,作为现有 TFS 200 的升级版本。点击了解有关四极质谱仪(QMS)的更多信息

点击了解 Beneq TFS 200 流化床反应腔(FBR)的原子层沉积(ALD)粉末镀膜的更多信息!

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