批量生产设备
Beneq P400A & P800
适用于工业生产的薄膜系统
Beneq P400A 和 P800 是专为工业规模生产设计的原子层沉积系统。它们是从研发阶段到大规模的工业化生产的理想工具。该系统经过工业认证，技术成熟可靠。该设计主要基于在严苛的工业应用中连续运行25年（24/7）的丰富经验。
我们的大多数工业客户需要专用的设备和工艺设置。Beneq 拥有多台 P400A 和P800 系统，用于满足应用开发和薄膜研发过程中的各种镀膜需求。
因此，那些寻找生产设备的客户可以在进行投资之前，验证工艺及设备的技书性能和财务成本。此外，我们还提供小规模量产的可能性，直到客户可以实现自主生产。
BENEQ P400A
适用于大批量生产和厚膜堆叠生产
与常规理解不同的是，许多原子层沉积使用的是叠层模块（>1μm）。 批量生产需要优化前躯体原料的通入量和先进的工艺气体处理系统。P400A 和 P800 配备了多重过滤系统，能够处理大量的 ALD 前躯体。在工艺期间，前躯体的吸收装置可确保任何会导致薄膜生长的化学物质无法进入真空泵。
真空过滤器容量体积大，且具有较高的气体传导率。该系统的过滤器处理能力使得在研发模式下的常规清洗间隔时间大约为1年，在生产模式下的清洗间隔时间为3至6个月。
对于工艺和镀膜设计，用于纳米叠层材料、混合膜和复杂镀膜设计结构的编辑器能够在同一批次中处理数百个不同的镀层。
BENEQ P800
性能优势
- 研发阶段后可立即扩大到生产阶段。
- 用于可重复生产控制的日志记录。
- UPS支持功能。
- 维护需求更低。
- 采用独特的迷你尺寸设计，可满足装载、批量生产、基底尺寸的灵活性以及污染控制。
- 采用迷你尺寸和专有的过滤器设计，可从 P400 系统上分离进行清洗工作。进行清洗时无需停机。
- 具有高性价比的热腔和大容量批量系统。
- 独特的热稳定源供应系统、嵌入式快速计量阀和集成的前驱体通道。
- 真空泵系统采用专有的大容量前驱体吸附和过滤系统，可实现大批量加工。
- 除了正常的加热回路以外，附加 PLC 可通过专用热电偶避免过热，从而提高生产安全性。
- 经过30年的发展，行业见证的高重复性和生产可靠性。
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