Beneq P400A & P800

适用于工业生产的薄膜系统

适用于工业生产的薄膜系统

Beneq P400A 和 P800 是专为工业规模生产设计的原子层沉积系统。它们是从研发阶段到大规模的工业化生产的理想工具。该系统经过工业认证，技术成熟可靠。该设计主要基于在严苛的工业应用中连续运行25年（24/7）的丰富经验。

我们的大多数工业客户需要专用的设备和工艺设置。Beneq 拥有多台 P400A 和P800 系统，用于满足应用开发和薄膜研发过程中的各种镀膜需求。
因此，那些寻找生产设备的客户可以在进行投资之前，验证工艺及设备的技书性能和财务成本。此外，我们还提供小规模量产的可能性，直到客户可以实现自主生产。

与常规理解不同的是，许多原子层沉积使用的是叠层模块（>1μm）。批量生产需要优化前躯体原料的通入量和先进的工艺气体处理系统。P400A 和 P800 配备了多重过滤系统，能够处理大量的 ALD 前躯体。在工艺期间，前躯体的吸收装置可确保任何会导致薄膜生长的化学物质无法进入真空泵。

真空过滤器容量体积大，且具有较高的气体传导率。该系统的过滤器处理能力使得在研发模式下的常规清洗间隔时间大约为1年，在生产模式下的清洗间隔时间为3至6个月。
对于工艺和镀膜设计，用于纳米叠层材料、混合膜和复杂镀膜设计结构的编辑器能够在同一批次中处理数百个不同的镀层。

性能优势

联系我们的团队，获取更多产品参数，报价及样品信息。

联系我们