工业量产设备

Beneq P1500

适用于最大基底镀膜的全球最大ALD系统

Beneq P1500是我们最大的ALD系统,专为大型板材和复杂零件的镀膜而设计。它还可以提高小型组件批量生产的产能。

我们的客户将P1500用于大直径基底上的光学涂层、半导体设备部件的防腐涂层镀膜,以及玻璃或金属板上ALD的各种应用。

Beneq P1500


尺寸

大型零件需要大型ALD工具。Beneq P1500可以容纳尺寸最大为1300×2400mm的零件,并能够在广域镜或透镜上沉积高质量的功能性光学涂层。它还用于尺寸范围在300至1000mm之间的零件的批量镀膜。

可能适合加工的基底包括:

  • 第4至6代显示屏玻璃
  • 光伏玻璃板
  • 天文镜
  • 半导体处理腔盖、衬垫和花洒
  • 印刷电路板
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AMAT Showerhead 7
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Astronomical Mirror with optical coatings
AMAT Showerhead 7
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可扩展性

提高小型基底批量生产的产能。您目前的镀膜机组是否已达到满负荷运转?Beneq P1500能够扩大批量生产,并为您的工作流程增加额外的镀膜能力。

与小型批量生产工具相比,P1500可以提高镀膜产能。此外,其大批量生产能力可以降低小型零件的镀膜成本,使ALD在许多应用领域具有商业可行性。

设计和设置

每个客户的要求都是独一无二的。P1500的反应腔和基底支架有不同的设置。联系我们,帮助您选择和设计最适合您的基底和应用的工具设置和ALD工艺。

P1500 setup


多腔功能

避免不必要的维护停机时间。Beneq P1500使用多个反应腔,在每次运行之间交替使用,因此可以最大限度地减少与维护相关的生产停机时间。

厚度通用性

按您需要的大小沉积。大批量生产需要大量的前驱体,并产生许多残留物和副产品。为了解决这些问题,P1500配备有大容量前驱体源和前驱体去活和过滤系统,用于沉积厚度从纳米到微米级的薄膜批次。

Beneq P1500是我们强大而可靠的P系列的最新一员,在35年以上工业ALD批量生产的经验基础上开发而成。

Beneq P1500 product image

前驱体

氧化物、氮化物、硫化物等。选择正确的工艺和前驱体材料可能很困难。何时使用高温与低温?前驱体材料使用是否安全?咨询我们的专家,为您的应用找到合适的材料或材料组合。

P1500可从室温加热到400℃,可轻松处理气态、液态和固态前驱体,包括有毒、自燃和腐蚀性前驱体材料。

People with Beneq P1500

预热烘箱

Beneq独有的预热器。可选的预热烘箱缩短了加热时间,并且能进一步提高镀膜能力。


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