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PEALD 达到全新的水平

纳米技术应用

Markus Bosund 博士将在2018年3月23日,在阿尔托大学电子与纳米工程系,举行一场关于原子层沉积 ALD 和纳米技术的博士论文答辩,绝对值得一看!

Markus Bosund 的博士论文答辩主题是关于 Development of Atomic Layer Deposition Processes for Nanotechnology Applications.

ALD 是一种基于表面控制的薄膜沉积。在涂覆期间,两种或更多种化学蒸汽或气态前驱体在基底表面上按顺序发生反应,从而形成固体薄膜。

在论文中,Markus 展示了两种用于钝化 GaAs 表面的低温方法,并研究了等离子体增强原子层沉积 PEALD 生长的 AIN 的薄膜特性。

Markus 还提出了一种用于 Yb203 薄膜的新沉积工艺,并研究了二氧化钛薄膜在光催化领域中的应用。光催化过程具有多种用途:它们可用作假体的灭菌方法。

Markus 的主考人是挪威奥斯陆大学的 Ola Nilsen 教授。

Markus Bosund will be defending his thesis ‘Development of Atomic Layer Deposition Processes for Nanotechnology Applications’ at Aalto University on Friday, March 23

祝贺 Markus,也预祝他在周五的论文答辩顺利!

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