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新千年的 ALD 技术

原子层沉积 ALD 技术发明者荣获2018年千年技术奖

千年技术奖是一项由芬兰技术学会组织评选的，表彰改善人们生活质量、促进可持续发展的科技创新成果的奖项。该奖项每2年颁发一次，奖金为100万欧元。

芬兰共和国总统 Sauli Niinistö 先生昨日出席了在赫尔辛基举行的第八届千年技术奖颁奖仪式，并向原子层沉积技术发明者 Tuomo Suntola 博士颁奖。

颁奖仪式上重复讨论了2个议题：隐形技术和持久性。

ALD – 隐形优势

在昨天的颁奖仪式上，所有参与者的意见达成一致：将一项默默地从多个方面改善人类生活品质的技术带到聚光灯下，是芬兰技术学会作出的一项伟大的选择。ALD 的应用场合已遍及人们的生活，但人们对它知之甚少。很多庆典的参与者吃惊地表示，第一次听说这项应用领域如此广泛的技术。

协会专家、千年技术奖评选委员会主席 Päivi Törmä 教授这样评价 ALD 技术：

“ ALD 技术是一项教科书式的，在用户毫无察觉的情况下使产品性能显著改善的技术。ALD 同时使得信息技术的所有权更加民主，从而为信息的沟通和共享做出贡献。”

50年历程：从理论到工业生产

Tuomo Suntola 博士是原子层沉积技术 (70年代问世时, 最初命名为原子层外延生长技术) 发明者、千年技术奖获奖者。这项技术的第一个应用领域是电致发光，目的是创建全新的可持续显示方法。

在后来的10年中，这项创意从实验室逐步走向生产。Suntola 博士和其他科研人员必须积累更多的知识，做出更多创新，才能推动技术向生产领域的转化。他们必须构建第一款工业用途 ALD 设备、制定生产计划并优化流程。此外，还必须设计第一款产品和提供支持的电子设备。

全球第一款工业 ALD 产品——电致发光显示屏于上世纪八十年代中期，在 Beneq 工厂现在的所在地开始生产。因此我们称自己的工厂为 ALD 之家。自2012年起Beneq 旗下 Lumineq 品牌最新一代的薄膜电致发光显示屏仍在这里生产。

创新技术从芬兰走向全球

在技术诞生的初期，Tuomo Suntola 博士就看到了原子层沉积技术的其他应用领域。他花费多年时间，向大型全球化企业推销这项创意，但无功而返。ALD 技术用了数十年才进入半导体制造领域，在二十一世纪初才在电子工业得到广泛应用。此后，ALD 技术的发展脚步再未停歇。

今天，Tuomo Suntola 博士的发明诞生近50年后，我们才看到工业 ALD 技术的开端。从新工艺的诞生，到镀膜技术的改进，每天都在诞生与 ALD 相关的新技术，时时刻刻都在涌现新的 ALD 应用领域。最近的热点领域当属 OLED 封装、锂电池的安全性和稳定性、电子器件抗腐蚀涂层和超摩尔市场基于晶圆的ALD应用，如MEMS、RF 和功率半导体器件。

芬兰技术协会同时为 Suntola 博士，他的发明和 ALD 技术做了一个出色的视频短片，相信每个人都会感兴趣的。