行业和应用

微机电系统 MEMS

在 MEMS 中, ALD 由具有较宽沉积温度的保形薄膜的独特组合所驱动，从而令材料选择更丰富多样。即使在高纵横比下，ALD 可以确保在微机电器件的所有侧面上均覆有保形薄膜。由于每个反应周期大约会沉积一个原子单层，因此可以精确地将原子层沉积薄膜厚度控制在原子水平上。

喷嘴装置

喷嘴装置包括镀有若干厚保护层的电阻加热元件，这些保护层的目的是有效避免元件的快速冷却。为保护加热元件免受喷嘴室内部的恶劣环境的影响，这些保护层是必不可少的。压电式喷墨技术也具有类似的要求。因为在该技术中，需要保护通道或振荡材料免受各类墨水的腐蚀。

RF 滤波器

在 RF MEMS 系统中，SAW 和 BAW 组件会将电能转换为机械声波，然后又转换为电能，并在信号处理领域中发挥关键作用。因此，ALD 技术在改善压电材料的性能的压电系数和机电耦合系数方面发挥重要作用。

微流控

这是一种用于包含各种3D微结构和表面改性分子层的微毛细管系统的流体传导行为。毛细管系统的内表面被不同氧化物层的 ALD 所覆盖，用以控制防潮性能。

惯性和压力

传感器，包括加速度计、陀螺仪、压力传感器和麦克风等在内的传感器已成为消费类电子、汽车和工业应用中的主要产品，市场价值高达数十亿美元。ALD 解决方案包括抗粘连疏水膜和保形密封层。

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