Beneq ALD 设备维护服务计划

为了确保您购买的 ALD 设备顺利运行，我们提供一系列维护合同和按需服务。

延保服务

• 每年进行一次预防性维护访问，包括所需的人工和PM零件。
• 差旅和住宿费用包含在合同价格中。

优质的售后服务

• 提供预防性维护和计划外维护。
• 包括所需的人工和零件。
• 提供远程连接设置，可快速解决问题。
• 可以通过 Beneq 远程连接，对 PLC 和 HMI 进行软件升级。

按需服务

• 如果您没有选择打包维护合同，我们将安排专业人员为您提供帮助。
• 零件，人工和差旅费另行收费。

Beneq ALD 维修合同模式

延保服务合同

延保服务包括由 Beneq 现场服务工程师在 Beneq ALD 反应堆上执行的预防性维护任务，最大程度延长设备的正常运行时间，从而最大程度提高客户对 Beneq 技术的投资价值。预防性维护工作将由经验丰富的现场服务工程师进行，他们均接受过 Beneq TFS 系列 ALD 设备的专项培训。

根据双方同意的时间表，每年执行一次预防性维护工作。预防性维护工作包括 Beneq 预防性维护协议中规定的相关工作，工期为两天。实施预防性维护工作所需的备件也包含在内。为了便于预算，差旅和住宿费用已包含在合同价格中。

预防性维护工作主要基于详细的协议，并且在工作完成后会提交详尽的服务报告。客户将保留服务报告，以作为已完成服务的证明，同时在维护时用作设备性能的证明，便于下次维护时使用。

优质的售后服务合同

此外，对于详尽的PM计划，Beneq 优质售后服务合同提供计划外维护。其中包含人工和零件费用。该服务还包括远程连接以及用于快速故障查找和软件更新的支持，力求尽快解决计划外问题。

计划外维护

Beneq 现场服务工程师负责实施 ALD 反应堆的计划外维护工作，确保发生意外故障后尽快使设备恢复正常运行。在收到通知后24至72小时内，Beneq 会及时安排计划外维护工作。此项服务将由经验丰富的现场服务工程师负责，他们均接受过 Beneq ALD 设备专项培训。必需的维修部件也包含在计划外保修内。差旅和住宿费用将与实际费用分开开具发票。Beneq ALD 反应堆的任何辅助组件（例如真空泵、射频发生器、臭氧发生器或冷却器）均不包含在本合同范围内。任何情况下，Beneq 都会在接到维修通知24小时内提供反馈建议和解决方案。

远程连接和支持

Beneq 远程连接使用的 eWON 技术具有以下优点：eWON 连接在客户网络内部启动，从互联网到客户网络的防火墙不需要开放端口。

远程连接系统规格：

• eWON 工业 VPN 路由器。
• PLC 软件远程网关设置。
• HMI PC UltraVNC 服务器软件。

Beneq 现场服务工程师在客户现场安装远程连接系统的硬件和软件。

远程连接服务包括 Beneq 现场服务的工作时间。可提供最多20小时/年的工具支持和故障排除服务。

客户应安排与 Beneq PLC 机柜的互联网访问连接。此连接将由客户负责。安装远程连接系统后，Beneq 现场服务工程师可以使用工具控制系统进行必要的故障排除或服务。

远程连接系统概述

1. eWON 连接到 Talk2M 服务。
2. 远程访问电脑也连接到 Talk2M 服务。
3. 通过防火墙，对所有 Beneq 网络设备进行 VPN 远程访问。

优势：eWON 连接在客户网络内部启动，从互联网到客户网络的防火墙不需要开放端口。

按需设备服务

如果客户不选择任何一种服务合同模式，我们将提供按需服务。这些维护访问的时间安排将视具体情况而定，并根据 Beneq ALD 现场服务价格表予以收费。零件和差旅费将另行收费。

Beneq ALD 售后服务团队由非常专业的 ALD 现场服务工程师组成。他们均接受过 Beneq ALD 设备专项培训。我们在全球开展业务，并在欧洲、中国和美国设有现场服务工程师团队。