高居工业 ALD 前三名的应用
在 Beneq ALD 工厂中，我们已经在多种材料上进行了大量的原子层沉积应用。目前已有数百种不同的原子层沉积配方，其中有些是真正特殊的技术，而且许多也是严格保密的信息。从微小的零件和标准晶圆到大型的机器部件到打破世界纪录尺寸的玻璃板，我们的镀膜技术几乎涵盖各个领域。使用 Beneq ALD 技术的产品无处不在。
但哪些是最常见且最受欢迎的典型工业原子层沉积应用？这是我们时常会被问到的问题，因此我们进行了一些研究，查阅了镀膜服务部门的所有客户项目清单，同时检索了客户使用 Beneq 设备进行的具体工业 ALD 应用。以下是三种最普遍的工业原子层沉积应用：
1. 防潮阻隔镀膜
我们始终认为原子层沉积 ALD 是 终极防潮保护层。但我们仍惊讶地发现，Beneq 历史上拥有不计其数的防潮层、封装和防潮保护项目。目前最热门的应用领域是用于敏感电子元件的 PCB 防潮封装。但该清单上还有许多粉末镀膜项目，如 磷光体粉末封装。预期会有许多针对 PCB 的防潮项目，但我们还在该清单上发现了晶圆级防潮保护项目以及针对敏感组件上的保形涂层而进行的批量原子层沉积工艺。许多项目都与不同形式的 LED 和 OLED 的封装有关，但我们也看到了有关闪烁体、微通道板、传感器等装置的镀膜项目。实际上，该清单仍在不断更新。迄今为止，应用最广的原子层沉积应用领域无疑是防潮阻隔镀膜。
2. 光学镀膜
在我们最常见的原子层沉积应用清单上，位列第二名的是光学组件。同样，该清单上还有很多不同的光学镀膜应用项目，从复杂3D表面上的保形高性能镀膜到各种镜片的相对简单的光学镀膜，涵盖范围十分广泛。但长期以来，我们的研究人员最热衷的项目一直是多层滤光片，例如 红外和近红外滤光片镀膜 以及其他纳米层压板，仅仅因为它们很难被正确处理。在此类别中，从大功率激光器到夜视设备等最终产品均包括在内，应用范围十分广泛。
3. 抗腐蚀镀膜
在我们最常用的原子层沉积镀膜应用清单上，排名第三位的是抗腐蚀。令人惊奇的是，一系列采用抗腐蚀涂层处理的产品被收录其中。很多项目均采用了我们专门设计的 敏感电子元件专用 ALD 镀膜, 从不同的组件到完整的电路板，应用范围十分广泛。此外，我们还在其他方面为客户提供抗腐蚀保护，如 LED 封装。银和铜的防锈蚀保护也属于此类别。多年来，我们已经将 ALD 成功应用于硬币、珠宝、镜子和其他物品的抗腐蚀镀膜。
以上是我们清单的前三项应用排名，其实际应用远远超出想象。我们稍后会介绍其他的应用，包含了非常丰富的项目：装饰涂料、各种阻隔层、镜子、钝化、绝缘、导电涂料、检测器、探针、机器零件、电池电极和隔板、食品包装、纺织品、固化材料、催化涂料……请继续关注原子层沉积之家 Beneq 推出的工业原子层沉积应用百强清单！