行业和应用

防反射光学镀膜

3D光学元件在镀膜时所面临的挑战是用简单的方式在任意拓扑结构上沉积具有高均匀性的镀膜。常用的视线法会导致厚度分布和阴影效果不均匀。为了解决这一问题,大量的机械工作和工艺优化是必不可少的,但仍可能无法实现足够均匀的薄膜沉积。ALD 克服了这些限制条件,完美解决了高精度无针孔薄膜的挑战。因为 ALD 不仅可以大规模均匀性地镀膜,还能在任意形状的高深径比结构上实现高保形镀膜。


圆顶透镜

在高度弯曲的大型镜片上使用 ALD 防反射镀膜可产生绝佳的效果。即使在半径最大为150毫米的圆顶透镜上,其薄膜性能也从视觉范围扩展到红外范围。该技术现已适用于多种大型3D光学组件。

MCP

ALD 镀膜的高保形性使其薄膜可以沉积在非常狭窄的微孔中,例如在 MCP 中10μm宽和毫米深的微孔。ALD 非常适合在传统的氧化铅玻璃 MCP-PMT 上沉积二次电子发射层,从而提高增益性能并延长器件的使用寿命。ALD 镀膜能够对 MCP 表面进行有效密封,防止 MCP 玻璃中气相污染物的解吸。

联系我们

如果您有任何问题?

联系我们的团队,获取更多产品参数,报价及样品信息。

联系我们