探索用于纳米结构镀膜的 ALD 技术

Pardubice 大学的 Jan Macák 教授探索用于纳米结构镀膜的ALD 技术。马卡克教授和团队使用Beneq TFS200 工具，配合动力学停流选项，显著提升TiO2 纳米管的光吸收特性，从而制造效率更高的太阳能电池。点击观看视频。