Beneq Group

我们的故事

关于芬兰纳米技术的故事。

Beneq®的名称来源于 “ben·eq” 一词其在拉丁语中的含义是精良设备。我们的故事始于1984年。

1984 – 全球首个使用原子层沉积 ALD技术的工业产品

1984年,Lohja Corporation(Oy Lohja Ab)在芬兰 Espoo 新建了一家电子工厂。(该建筑在28年后成为 Beneq 总部,我们稍后会讲述这一部分的故事。届时我们还将解释为什么我们在Beneq的历史中选择以秒为单位进行计算)。新建工厂的目的是基于原子层沉积这项新技术,开始生产新一代的薄膜显示屏。

原子层沉积 ALD 于上世纪七十年代在芬兰发明问世。它最初被称为原子层外延,后来由另一家芬兰企业集团 Instrumentarium 进行研发,正式推出其首个工业应用产品:薄膜电致发光显示屏。Lohja Corporation 开始以其标志性电视品牌 Finlux 出售薄膜电致发光显示屏。以赫尔辛基万塔机场为例,出厂后的电致发光显示屏在该机场的出发大厅内运行了二十年时间,期间没有发生任何故障。

在过去的30年中,新一代加固型电致发光显示屏的生产仍保持强势增长。后被Beneq 更名为 Lumineq 显示屏品牌。如今,我们继续努力向前不辍……

Finlux display modules at Helsinki Airport.

制造第一台 ALD 镀膜设备

诺基亚可能是有史以来最知名的芬兰公司。该公司于1990年将其电缆设备业务独立出来,组成 Maillefer 合资公司。这家在工业设备制造领域具有悠久历史的合资公司于1998年更名为 Nextrom。在那里,Beneq 三位创始人JP、Sampo 和Tommi 因全球工业设备生产的基础知识而走到一起。一个将技术商业化与定制制造设备相互独立的想法开始成型。

Nextrom 在上世纪90年代末和本世纪初就成为一个涵盖了先进设备制造、项目组织和供应链管理的国际化高端平台。随着设备业务的快速增长,Nextrom 的设备团队必须以超乎想象的速度为那些高要求的客户设计和构建复杂的设备解决方案。项目管理复杂琐碎,在客户项目初期就必须构建和测试许多要件。这为几年后成立的 Beneq 团队奠定了坚实的学习基础。

同时,一家名为 Mikrokemia 的公司在 ALD 及 ALD 设备领域也取得了进展。该公司由Neste Oy(也是最大的芬兰公司之一)于1987年成立,主要致力于研究原子层沉积在表面化学、催化剂和太阳能电池中的应用。Mikrokemia 后来出售给荷兰 ASM International 公司,并更名为 ASM Microchemistry Oy,主要专注于开发原子层沉积的半导体应用。

结合了ALD 技术的显示屏制造业务由 Lohja Corporation 旗下的 Espoo工厂继续进行。直到1993年,显示屏业务被出售给美国 Planar Systems 公司。Planar 继续从事电致发光显示屏业务,但同时也开始出售自己的产品:由 Espoo工厂开发的用于显示屏生产的原子层沉积反应器。

2005 – Beneq 正式问世

现在,一切开始融合在一起。

2005年,Nextrom 更新了其发展战略,并决定专注于公司的核心业务。一个内部风险团队一直协助该公司测试、试验和制造新的工业产品,以开发创新业务,但这与 Nextrom 的新战略不符。而此时该团队有机会收购工业化服务业务。

2005年3月,Nextrom 三名员工在芬兰 Lapland 度过了一个漫长的周末,滑雪的时间比计划的要少(他们自始至终都在讨论业务计划,根本没有滑雪)。他们最终决定成立一家自己的公司。2005年5月1日,这家新公司正式成立。公司名称bene eq 来源于精良工程设备的理念。

Beneq 第一个工程团队由 ASM Microchemistry 的前设计工程师组成。在 ASM 将其设备设计和工程业务从芬兰移至美国菲尼克斯之后,他们加入了Nextrom,从事基于 MCVD(改性化学气相沉积)的光纤工作。

Beneq 制造的第一台设备是新型原子层沉积反应器。一方面是因为 Beneq 的一些早期工程师拥有 ALD 技术背景,另一方面是因为 ALD 与改进的化学气相沉积技术具有相似性。此台设备于2005年7月出售给 Micronova 微纳米与纳米技术中心,目前由芬兰 VTT 技术研究中心和 Aalto 大学共同使用。

The first equipment made by Beneq – Beneq TFS 500 for Micronova.

国际化背景

Beneq 的业务从一开始就具有国际化背景。其第二台设备订单来自韩国。从以下两个方面来看,第二个项目具有重要的里程碑意义。

首先,该项目涉及气溶胶镀膜设备,这为 Beneq 的气溶胶薄膜设备业务发展奠定了基础,在 Beneq 的发展历史中发挥了重要作用。今天 Beneq 有能力提供先进的湿膜沉积设备,其防反射镀膜主要应用于玻璃和太阳能电池。2006年,Beneq 收购了 ABR Innova Oy 的气溶胶业务,自此技术能力得到进一步加强。

其次,成功向亚洲交付气溶胶设备意味着 Beneq 的全球化思维得到肯定。同时表明,只要产品质量好且拥有全球化市场的远见,即使是小型芬兰公司也可以向世界上最大的公司出售产品。自此以后,Beneq 始终关注国际销售和全球市场。2016年,Beneq 营业额的98%来自芬兰以外的地区。

成功之路并非一路坦途……

Beneq 在初期发展势头迅猛。2010年,正值公司五周年之际,Beneq 已经发展成为一家拥有60名员工且资产高达千万欧元的公司。Beneq 的销售代理网络不断扩大,并在德国、美国和中国开设了销售办事处。Beneq 的客户资源也越来越多,其中包括一些全球商业巨头如 Asahi Glass 和飞利浦等。

同时,Beneq 的发展之路也充满了挑战。Beneq 成功开发了许多独特的薄膜产品和工艺,并在原子层沉积基底尺寸和质量上均打破了世界纪录。但可惜的是所有新设备型号均未在销售市场上取得成功。

事实证明,针对 ALD 新应用的一些业务和研发重点选择也是错误的。Beneq 大胆地将原子层沉积技术应用于新领域。尽管这些解决方案通常被认为远超竞争对手,但客户比较保守,不想冒险使用新技术。 有时出于经济方面的考虑,客户根本不会进行必要的投资。这为团队提供了宝贵的经验教训:仅仅依靠先进的技术是不足以确保业务增长的。

Beneq TFS 1200 – World record in ALD substrate size.

但是我们也看到了很多成功案例

另一方面,Beneq 早期创建的一些新设备模型(2007年启动的Beneq TFS 200 研究反应器)自推出市场起就颇受欢迎,至今仍在销售。Beneq 早在2006年就成功卖出第一批工业 ALD 工具(Beneq TFS 500 出售给 Kalevala Koru,主要用于银制品的防锈镀膜),而当时其他制造商仍处于反应器的研发阶段。

早期的工业解决方案主要强调的是从最初的想法到批量生产与客户紧密合作的重要性。这些经验证明了工业原子层沉积的可行性和薄膜服务业务模型的可行性,并为 Beneq 的未来战略奠定了基础。

Beneq 在此过程中赞誉无数。2008年,Beneq 被芬兰最大的日报《赫尔辛基日报》评为“芬兰最佳成长公司”。2009年,Beneq 被 Cleantech Group 和 Cleantech Scandinavia 列为北欧50家最有前途的清洁技术公司之一。2011年,Beneq 入选 Red Herrings 全球百强榜。虽然公司员工并未因这些荣誉而获得奖金,但他们获得了极大的鼓舞,在公司的发展道路上继续奋进。

2011年,Beneq 获颁芬兰总统国际化发展奖,这是向积极参与芬兰国际化发展的公司或社区颁发的最负盛名的奖项之一。Beneq 可能是唯一一家同时获得两个奖项的公司。Planar Systems 还于1996年获得了相同的奖项(当时被称为总统出口奖)。

Beneq receives the the Internationalization Award of the President of the Republic of Finland.

ALD 之家

Beneq 于2007年收购了 Planar Systems 的原子层沉积业务,并在 Espoo 工厂进行 ALD 业务的运营。该工厂早在上世纪80年代就启动了使用 ALD 技术实现显示屏的工业化生产。这是 Beneq 与 Planar 紧密合作的起点,同时也使 Beneq 能够拓展其薄膜研发服务。如今,随着新应用已从研究项目转向工业解决方案,此项业务已成为公司积极探寻薄膜镀膜的新应用并随着客户的发展而发展的战略的基石之一。

2012年,Beneq 收购了 Planar 的电致发光显示屏业务,并推出了全新的Lumineq®品牌。这是一款适用于极端条件下超宽温的加固型电致发光显示屏。Espoo 工厂(ALD 之家)成为 Beneq 的总部所在地。芬兰高科技历史中的重要一环再次回到其发源地。这是一次完满的循环。

2012: Beneq’s Lumineq brand for the durable electroluminescent is launched.

走过33年,不忘初心

以上的发展历史揭示了为什么我们喜欢称 Beneq 为拥有30多年经验的青少年。这使我们回到了那一段以秒为单位计时的拼搏时光。

当您访问我们 Espoo 工厂并进入我们存放40台原子层沉积设备的无尘室区域时,您会注意到传统的批量原子层沉积设备不断发出的滴答声。这些是设备室内的前驱气体脉冲发出的滴答声,它们最终会逐层产生新的纳米涂层。这是 ALD之家中的工厂车间特征之一。滴答。滴答。滴答。

气体脉冲之间的时间(滴答)以秒为单位;每个脉冲通常需要几秒钟的时间才能通过反应腔。几年前,有人穿过工厂车间时大声地问道:在这座大楼中运行原子层沉积设备的30多年中,会发出多少次这样的滴答声?最终形成多厚的镀膜?

The Home of ALD – Beneq headquarters and factory in Espoo, Finland.

自然,我们要数一数。事实证明,我们的工厂已拥有长达10亿秒钟的历史。当 Beneq P400 ALD反应器用于 Al2O3 镀膜(防潮层中的典型材料)时,正常循环时间(两个气体脉冲)约为5秒。这意味着我们的工厂已经运转了33年,共有2亿次循环。

2亿个原子层沉积周期是一个令人印象深刻的数字。但要了解我们的薄膜有多薄,我们会继续进行计算。每个原子层的厚度约为0.1纳米,一个纳米的厚度为十亿分之一米。这意味着2亿层总厚度仅为2厘米。是的,我们在33年内完成了2厘米的镀膜。逐层构建更薄的世界,持久性是必不可少的!

Beneq P-Series ALD equipment at the Home of ALD.

Beneq 战略

创立伊始,Beneq 团队就很清楚:为了成功地将高科技创新转化为成功的工业应用,他们需要做一切其他人没有做过的事情。通常,这意味着他们要敢于做第一人。2005年,Beneq 提出首个战略方案,并决定集中精力将成熟的技术从研究实验室转移到大面积工业解决方案,但许多 ALD 专家声称这是不可能完成的。他们说,像 Beneq TFS 200 这样的设备是无法做到的,而且生产成本也过高。但是,我们却一如既往地付诸行动了。

从全新的材料结构到富有创新性的产品,我们始终坚持寻找全新的薄膜应用领域,这正是我们的文化之本。同时,我们也希望确保能够在批量生产中实施这些解决方案。无论我们制造透明 Lumineq 显示屏的目的是延长柔性 OLED 的产品寿命、提高太阳能电池的效率还是提高驾驶舱的安全性,我们始终致力于使我们客户的产品发挥更好的功能。

我们实现这一目标的方式仍然秉承 Beneq 在发展初期的理念:我们积极吸收各种创新想法,其中涵盖了从设计概念到商业应用、从实验室到制造工厂、从研究到生产的方式。这也最终形成了庞大而丰富的 IPR 组合。

整装待发,迎接美好未来

今天,Beneq 已经成为市场的引领者,不仅拥有先进科研设备(TFS 200、R2)、批量生产设备(BENEQ TransformTM)、超快速高精度空间 ALD 设备(C2R)、连续沉积的卷对卷设备(WCS 600)带来的创新解决方案,而且开发了厚膜叠层(P400、P800)的批量生产。Beneq 的总部位于芬兰 Espoo,致力于将原子层沉积 ALD 技术投入到各项研究中去,并通过工业原子层沉积解决方案推动技术发展的大趋势。

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