ALD 之家

1984年,我们开始使用原子层沉积 ALD 进行世界上首次工业生产。今天,Beneq 已经成为全球领先的 ALD 设备生产商,提供品类广泛的技术产品和研发服务。我们致力于将原子层沉积技术投入到各项研究中,并通过工业 ALD 解决方案推动技术发展的大趋势。

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产品

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科研

适合科学研究和企业研发的可靠灵活的 ALD 平台。

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晶圆厂

用于晶圆批量生产的自动化 ALD 解决方案。

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批量生产

这是最大规模的通用原子层沉积生产系统,适用于各种基底类型和镀膜。

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卷对卷 ALD

卷对卷 ALD 系统可连续沉积在大面积的柔性基底上,适用于研发和生产。

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服务

我们提供专业的服务

镀膜服务

将生产外包给 Beneq,这是将 ALD 薄膜解决方案推向市场的最快方法。Beneq 镀膜服务相对投资门槛较低且风险可控,是用来发掘 ALD 技术的好方法。

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研发服务

如果您想通过原子层沉积和 ALD 服务来改善产品,Beneq 是不二的选择:我们能为您带来30多年的薄膜镀膜经验和全球最大的 ALD 专用生产设施。

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支持服务

Beneq 支持服务团队致力于为您提供有关 ALD 工具的全方位协助。无论是零件、维护、培训还是 ALD 工具的升级,我们都能为您提供优质服务。

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